首（shǒu）先廢氣經均流板過濾（lǜ）棉進入設備時，由設備高壓穩定高（gāo）頻放電，瞬間產生1.5萬伏（fú）特至2萬伏特高壓（yā），擊穿廢氣。此階段中，長鏈、多鏈廢氣分子由於鍵能較（jiào）弱，約束力較小。很容易被擊穿化學鍵破裂，從而變成小分子（zǐ）化合物，此（cǐ）為第一階段（duàn）淨化。

其次，隨廢（fèi）氣進入設備的水分（fèn）子、氧（yǎng）分子被高壓擊穿斷裂，生成強氧化基團羥基、臭氧分子等。這些強氧化基團與廢氣分子充分接觸氧化，加快反應進程。整個反應幹淨，能量利用率高，淨化效率非常高。

等離子功能段可以激發汙（wū）染物能量（liàng），促使長鏈、多鏈汙染（rǎn）物分子的分子鍵（jiàn）斷裂重組，使難處理的汙染（rǎn）物降解（jiě）為較易處理的低碳汙染物。

從等離子體反應（yīng）過程可以看（kàn）出，電子先從電場獲得能量，通過激發或電離將（jiāng）能量轉移到汙染物分子中去，那（nà）些獲得能量的汙染（rǎn）物分子被激發，同時有部分分子被電（diàn）離，從而成為活性基（jī）團。然後這（zhè）些活性基團與氧氣、活性基團與活性基團之（zhī）間（jiān）相互碰撞後生成穩定產物和（hé）熱。

另外，高能電（diàn）子（zǐ）也能被鹵（lǔ）素和氧氣等電子親和力較強的物質（zhì）俘獲，成為負離子。這（zhè）類負離子具有很好的化學活性，在化學反應（yīng）中起著重要的作用。