首先廢氣經均流板過濾棉進入設備時，由設備高壓穩（wěn）定（dìng）高頻放電，瞬間（jiān）產生1.5萬伏特（tè）至2萬伏特（tè）高壓（yā），擊穿廢氣。此階段中（zhōng），長鏈（liàn）、多鏈廢氣分子由於鍵能較弱，約束力較小。很容易被擊穿化學鍵破裂，從而變成小分子化合物，此為第一階段淨化。

其（qí）次，隨廢氣進入（rù）設備的水分子、氧分子（zǐ）被（bèi）高壓擊穿（chuān）斷裂，生成強氧化基團羥基、臭氧（yǎng）分子等。這些強氧化基團與廢氣分子充分接觸（chù）氧化，加快反應（yīng）進程。整個（gè）反應幹淨，能量利用率高，淨化效率非常高。

等離子功能段可以激發汙染物能量（liàng），促使（shǐ）長鏈、多鏈汙染物分子的分子（zǐ）鍵斷裂重組，使難處理（lǐ）的汙染物降解為較易處理的低碳汙染物。

從等離子體反（fǎn）應過程可以看出，電子先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到汙染物分子中去，那（nà）些（xiē）獲得能量的汙染物分子（zǐ）被（bèi）激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團。然後這些活性基團與氧氣、活性（xìng）基團與活性基團之間相互碰（pèng）撞後生成穩定產物和熱。

另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力（lì）較（jiào）強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作（zuò）用。